一、光束模式

1、光束模式分類與特性

• ??基模（TEM00）??：能量呈高斯分布，可聚焦至理論最小光斑（直徑低至微米級(jí)），功率密度高達(dá)10?-10? W/cm²。在低碳鋼切割中，采用TEM00模式可使切割速度比TEM01模式提升10%，表面粗糙度Rz降低10μm，最優(yōu)條件下粗糙度可達(dá)0.8μm（接近鏡面效果）。能量集中，適用于半導(dǎo)體晶圓開槽、精密零件打孔等場(chǎng)景，如碳化硅（SiC）晶圓切割中，基模可實(shí)現(xiàn)5μm以下崩邊，良品率提升至95%以上。
• ??高階模（TEMmn）??：能量分布發(fā)散（如TEM01模式呈環(huán)形分布），聚焦光斑較大但焦深增加（焦深與光斑直徑平方成正比）。在3mm以上厚鋼板切割中，高階模可通過增大熱影響區(qū)提升熔渣排出效率，切割速度較基模提高20%，但精度會(huì)降低（粗糙度Rz增至15-20μm）。實(shí)際應(yīng)用中需根據(jù)材料厚度權(quán)衡：薄板（<3mm）優(yōu)先基模，厚板（>5mm）可選用高階模。多用于特殊加工需求，如表面紋理處理。

2、光束模式對(duì)加工的影響

• ??切割質(zhì)量??：基模光束能量集中，可減少熱影響區(qū)（HAZ），提升切割邊緣銳度。
• ??焊接深度??：高階模通過調(diào)整能量分布，可優(yōu)化熔深與熔寬比，其中TEM00模式焊縫熔深最大。
• ??表面粗糙度??：多模光束通過能量分散降低熱累積，減少材料表面微裂紋。
• ??優(yōu)化策略??：根據(jù)材料厚度與加工需求選擇模式。例如，碳鋼厚板切割推薦多模光束以平衡效率與穩(wěn)定性，建議采用TEM01*模式提升切割速度。

二、偏振方向

1、偏振類型

• ??線偏振（P偏振）??：能量沿固定方向振動(dòng)，適用于常規(guī)切割，但側(cè)壁吸收率低易導(dǎo)致V型切口。在各向異性材料（如碳纖維復(fù)合材料）加工中，沿偏振方向的切割邊緣垂直度比垂直方向高20%，但易產(chǎn)生"條紋效應(yīng)"。例如在玻璃切割中，線偏振會(huì)導(dǎo)致切割面出現(xiàn)周期性波紋（周期約1-2μm），需通過調(diào)整掃描路徑補(bǔ)償。
• ??圓偏振（C偏振）??：能量均勻分布，減少反射損耗，適合不銹鋼等高反材料加工。最新研究表明，圓偏振能減少激光與材料相互作用中的非線性克爾效應(yīng)，在玻璃加工中使激光 filamentation（絲狀損傷）效應(yīng)降低40%，熱影響區(qū)（HAZ）寬度縮減至5μm以下。
• ??徑向偏振（R偏振）??：能量呈環(huán)形分布，增強(qiáng)縱向電場(chǎng)，提升吸收率（有實(shí)驗(yàn)顯示R偏振切割效率比P偏振高1.5-2倍）。在打孔加工中可實(shí)現(xiàn)孔徑圓度誤差≤0.5μm，比線偏振提升3倍一致性。

2、偏振方向?qū)庸ばЧ恼{(diào)控

• ??切割效率??：徑向偏振通過共振吸收機(jī)制提升金屬切割效率，R偏振在不銹鋼切割中實(shí)現(xiàn)更優(yōu)的深寬比。
• ??熱影響抑制??：圓偏振通過均勻能量分布減少熱傳導(dǎo)，適用于薄板精密加工，圓偏振可降低HAZ達(dá)40%。
• ??表面功能化??：矢量光場(chǎng)（如螺旋相位光束）通過偏振調(diào)制實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)制備。

三、參數(shù)協(xié)同優(yōu)化

1、光束模式與偏振的匹配原則

• ??高功率切割??：基模+徑向偏振組合，兼顧能量集中度與吸收效率。
• ??微納加工??：多模疊加+矢量偏振，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)制備。
• ??表面處理??：圓偏振+低階模，平衡粗糙度與加工速度。

2、典型行業(yè)配置方案

半導(dǎo)體晶圓切割（SiC/藍(lán)寶石）

• 光束模式：TEM00（M²<1.3），聚焦光斑直徑8-10μm
• 偏振方向：圓偏振（通過λ/4波片轉(zhuǎn)換）
• 效果：切割道寬度<30μm，崩邊≤5μm，良品率從傳統(tǒng)機(jī)械切割的72%提升至95%。

厚鋼板切割（低碳鋼，厚度10mm）

• 光束模式：TEM01（M²=1.8），焦深400μm
• 偏振方向：線偏振（與切割方向夾角45°）
• 效果：切割速度1.2m/min，熱影響區(qū)寬度<50μm，表面粗糙度Rz=18μm。

微流控器件加工（PMMA材料）

• 光束模式：TEM00，功率密度0.15W/(mm²·mm/s)
• 偏振方向：徑向偏振
• 效果：微通道深度0.197mm，寬度0.256mm，截面呈"U-V"過渡型，滿足生物流體低阻力傳輸需求。